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場發(fā)射掃描電子顯微鏡 超高分辨

簡要描述:國儀量子超高分辨率場發(fā)射掃描電子顯微鏡SEM5000X,其分辨率達到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV。高分辨物鏡設(shè)計、高壓隧道技術(shù)(SuperTunnel)以及鏡筒工藝升級,實現(xiàn)了低電壓分辨率的進一步提升。

  • 產(chǎn)品型號:SEM5000X
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時間:2025-10-11
  • 訪  問  量:5011

詳細介紹

超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡

SEM5000X是一款超高分辨率場發(fā)射掃描電子顯微鏡,其分辨率達到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV。高分辨物鏡設(shè)計、高壓隧道技術(shù)(SuperTunnel)以及鏡筒工藝升級,實現(xiàn)了低電壓分辨率的進一步提升。全新設(shè)計的樣品倉,擴展接口增加至16個,快速換樣倉最大支持8寸晶圓(最大直徑208 mm),極大擴展應(yīng)用范圍。高級掃描模式和自動功能增強,帶來了更強的性能和更好的體驗。

產(chǎn)品優(yōu)勢:

•超高分辨率成像,達到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV

•樣品臺減速和高壓隧道技術(shù)組合的雙減速技術(shù),挑戰(zhàn)極限樣品拍攝場景

•高精度機械優(yōu)中心樣品臺、超穩(wěn)定性的機架減震設(shè)計,可搭配整體罩殼設(shè)計,極大減弱環(huán)境對極限分辨率的影響

•最大支持8寸晶圓(最大直徑208 mm)的快速換樣倉,滿足半導體和科研應(yīng)用需求



應(yīng)用案例

 

 

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